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IBE-150型 離子束刻蝕機
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離子束刻蝕機 型號：IBE-150 可加工材料：各種金屬、合金、非金屬、氧化物、氮化物、陶瓷、紅外和超導，磁學，LED等前沿領域。 核心參數 離子源類型：考夫曼離子源 有效束經：Фb≥100mm 離子能量：0～1000 eV 離子束流：0～130mA 樣品臺：水冷/氦冷，±90°傾斜，面內旋轉 高真空系統：前級泵＋分子泵 工藝氣路：1-2路 刻蝕均勻性：≤±3% 全自動＋半自動控制；支持單工藝和多工藝組、操作記錄、運行記錄、故障診斷、報警等功能。 可選配：0ES終點檢測 |
